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Journal | [J] 工程技术探索 Volume 6, Issue 12. 2024.
多晶硅装置尾气回收工艺研究进展
作者 : 武 志强, 仝 　磊
DOI: 10.12361/2705-1242-06-12-163817
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摘要 / Abstract
随着多晶硅产量的不断增加，其尾气排放量也在不断增加。一般情况下，多晶硅装置尾气中含有多种杂质 气体，其中以乙烯、丙烯、氢气为主，对环境造成严重污染，因此需要对其进行回收利用。目前多晶硅生产技术中 尾气回收技术主要包括精馏法、吸收法和吸附法。精馏法利用沸点差异实现尾气分离；吸收法利用不同物质的溶解 度不同进行分离；吸附法主要是利用吸附剂对尾气中的杂质气体进行吸附。
关键词 / Keywords
多晶硅；装置；回收工艺
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