某集成电路芯片厂工艺循环冷却水系统设计

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Journal | [J] 工程技术研究 Volume 3, Issue 2. 2021.

某集成电路芯片厂工艺循环冷却水系统设计

作者 : 路健, 刘成

DOI: 10.18686/gcjsyj.v3i2.43801

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摘要 / Abstract

工艺循环冷却水系统是集成电路芯片生产的重要支持系统，其特点是循环水量大，运行能耗高。如何在满足工艺设备对水温、水压、水质等需求的前提下合理设计，是系统后期运行的关键。本项目结合国内外同类工程的设计经验，采用开式循环冷却水系统，在满足项目分期实施的前提下，做到技术经济合理，安全可靠。

关键词 / Keywords

工艺冷却水；开式循环系统；一体化换热机组

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