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Journal | [J] 教育与学习 Volume 3, Issue 5. 2021.
锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能分析
作者 : 张 泽奎
DOI: 10.18686/jyyxx.v3i5.44113
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摘要 / Abstract
本文通过实验研究了锰钴镍铜氧薄膜的红外探测器的制备过程，并分析了器件的各项性能。实验中通过修改Cu元素的掺加比例，制作出一系列的MCNC薄膜材料，并制备成不同红外探测设备，结果表明探测器件在一定厚度、尺寸情况下，改变铜掺入，能对期间阻值、噪声等参数产生显著影响，当铜掺入量达到0.24左右时，薄膜器件阻值、噪声等参数达到较好的范围，能够较好弥补负温度系数减小等问题，且该铜掺入量下的薄膜器件能获得更好的探测率。
关键词 / Keywords
锰钴镍铜氧薄膜；红外探测器；性能分析
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