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Journal | [J] 现代化工 Volume 3, Issue 7. 2021.
电子级多晶硅循环氢气深冷分离除杂技术研究
作者 : 许 跃
DOI: 10.18686/xdhg.v3i7.48325
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摘要 / Abstract
目前在化工行业发展过程中，对于各项的化工工艺而言，伴随着现代化科技的不断更新和改造，对于多种杂质来源和去除工艺的质量要求越来越高。本文通过分析电子级多晶硅循环氢气深冷分离除杂技术，结合整个回收装置中的杂质种类和来源，确定相关的去除工艺，在明确循环氢气深冷分离除杂技术的主要原理后，通过解决在氢气循环过程中磷化氢的累积情况，更好地对之中的杂质进行深度分离，从而保证在还原炉化学气相沉积过程中循环氢气的纯度时，能够更好地达成预期的目标。
关键词 / Keywords
电子级多晶硅；循环氢气；深冷；杂质
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