Journal | [J] 工程技术与发展 Volume 3, Issue 11. 2021.
金-金倒装焊工艺可靠性研究
作者 : 王 勇
摘要 / Abstract
为了满足微电子器件小型化的应用需求,本文提出了一种基于AlNHTCC基板的金-金倒装焊工艺结构。 本文介绍了金-金倒装焊工艺所涉及的关键技术,设计了工艺样品,实现了尺寸10mm*10mm芯片(凸点数>1000 个)金-金倒装焊接互连,对样品进行温度循环和长期寿命试验考核,并通过试验后的样品进行微观分析。试验结 果表面:金-金倒装焊工艺具有较高的可靠性,可满足GJB2438规定的H级QML试验温度循环和长期烘烤环境应力 考核,可作为未来高可靠性电子装备小型化的解决方案。
关键词 / Keywords
金凸点;倒装芯片;热压超声焊;可靠性评估
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