Journal | [J] 工程技术与发展 Volume 3, Issue 4. 2021.
CT球管生产工艺的高温高真空炉的研发与应用
作者 : 舒 立杰, 李 成亮, 郄 程飞
摘要 / Abstract
在CT球管生产工艺中,真空热处理是重要的工艺环节。为了实现CT球管核心部件的国产化生产,研发高温高真空炉,以国产冷泵作为核心高真空泵,并配有载气分压气路控制系统。并且开发了冷泵手动/自动控制程序,与设备控制程序相结合,实现设备稳定运行和生产。
关键词 / Keywords
CT球管;真空高温工艺;低温泵;低温泵控制程序模块化
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