TEM显微镜噪声屏蔽室吸声结构部分方案总结

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Journal | [J] 建筑施工与发展 Volume 4, Issue 8. 2022.

作者 : 孟令文

DOI: 10.12361/2705-1269-04-08-92618

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摘要 / Abstract

在半导体项目实施过程中，需在TEM实验室区域安装电子显微镜，用于晶圆检测和品控，电子显微镜属于高精密仪器，对实验室声环境要求非常高，为不影响电子显微镜正常工作，需对TEM实验室进行防噪音处理（通常电磁屏蔽部分由显微镜厂商实施）。

关键词 / Keywords

噪声；屏蔽；测试

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