半导体厂房净化空调系统设计与应用探析

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DOI: 10.12361/2661-3476-04-11-111736

半导体厂房净化空调系统设计与应用探析

邱云飞

深圳市美日净化工程有限公司广东深圳 518000

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摘要：中央空调是生活中十分普遍的装置,在生活中并没有对中央空调的洁净度有着太多的要求。而在现代化制造过程特别是半导体制造这一精细化制造流程中,对其净化厂房的中央空调控制系统设备存在很大的要求。为了提高质量及成品率,必须减少热湿干扰和粉尘影响,利用中央空调控制系统把房间温度、湿度、空气流速、气压等调节在所需要的范围内,以求最适宜的零点五导体收音机制造条件。本文围绕半导体厂房净化空调系统设计进行讨论，介绍半导体生产的环境需求，并对净化空调系统的设计与问题进行解决，以求节能高效的净化系统。

关键词：

洁净度、空调系统设计、半导体

Universe Scientific Publishing

ISSN：2661-3484

年,卷(期)：2022,4(11)