多晶硅装置尾气回收工艺研究进展

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DOI: 10.12361/2705-1242-06-12-163817

多晶硅装置尾气回收工艺研究进展

武志强, 仝　磊

内蒙古包头市土默特右旗

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摘要：随着多晶硅产量的不断增加，其尾气排放量也在不断增加。一般情况下，多晶硅装置尾气中含有多种杂质气体，其中以乙烯、丙烯、氢气为主，对环境造成严重污染，因此需要对其进行回收利用。目前多晶硅生产技术中尾气回收技术主要包括精馏法、吸收法和吸附法。精馏法利用沸点差异实现尾气分离；吸收法利用不同物质的溶解度不同进行分离；吸附法主要是利用吸附剂对尾气中的杂质气体进行吸附。

关键词：

多晶硅；装置；回收工艺

Universe Scientific Publishing

ISSN：2705-1242

年,卷(期)：2024,6(12)

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