某集成电路芯片厂工艺循环冷却水系统设计

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DOI: 10.18686/gcjsyj.v3i2.43801

某集成电路芯片厂工艺循环冷却水系统设计

信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司

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摘要：工艺循环冷却水系统是集成电路芯片生产的重要支持系统，其特点是循环水量大，运行能耗高。如何在满足工艺设备对水温、水压、水质等需求的前提下合理设计，是系统后期运行的关键。本项目结合国内外同类工程的设计经验，采用开式循环冷却水系统，在满足项目分期实施的前提下，做到技术经济合理，安全可靠。

关键词：

工艺冷却水；开式循环系统；一体化换热机组

Universe Scientific Publishing

ISSN：2705-0998

年,卷(期)：2021,3(2)

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