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DOI: 10.18686/gcjsfz.v3i4.62178

CT球管生产工艺的高温高真空炉的研发与应用

舒立杰, 李成亮, 郄程飞

北京北方华创真空技术有限公司

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摘要：在CT球管生产工艺中,真空热处理是重要的工艺环节。为了实现CT球管核心部件的国产化生产,研发高温高真空炉,以国产冷泵作为核心高真空泵,并配有载气分压气路控制系统。并且开发了冷泵手动/自动控制程序,与设备控制程序相结合,实现设备稳定运行和生产。

关键词：

CT球管;真空高温工艺;低温泵;低温泵控制程序模块化

Universe Scientific Publishing

ISSN：2661-3492

年,卷(期)：2021,3(4)

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