基于扫描探针激光外差干涉的位移测量系统研究

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DOI: 10.12361/2705-0947-04-06-84239

基于扫描探针激光外差干涉的位移测量系统研究

右江民族医学院

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摘要：对探针振动信号进行分析，得到的基频可以用来表征探针的位移变化，二倍频的产生可以作为探针样品接触的依据。论文建立了探针 - 样品振动的非线性方程，系统仿真了基频及二倍频的振幅随探针 - 样品间距的变化规律，以及探究了针尖半径、杨氏模量、驱动力对振幅的影响，仿真结果表明，在斥力区，振幅的变化随探针样品间距的减小是呈线性变化的。

关键词：

扫描探针；外差干涉；振动信号；原子

Universe Scientific Publishing

ISSN：2705-0971

年,卷(期)：2022,4(6)

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