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AMHS轨道补强系统方案分析探讨
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摘要:AMHS(洁净室自动搬运系统)是超大规模电子制造工业环境中洁净工艺系统中的重要组成部分,其中自 动化轨道小车作为洁净厂房自动搬运系统连接 STOCKER(仓储系统)的主通道。安装精度与稳定性与 FFU吊顶系 统安装关系密切,是集成电路项目设计及安装的重点。本文将结合上夹层屋面梁间距及补强要求等,对AMHS轨道 上夹层二次钢构系统施工进行深化设计方案及施工进行分析。以期对类似结构形式的半导体厂房实施有所裨益。
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