平面研磨低损伤控性研究

陈 传音, 林 传葛, 王 泽伟
国网浙江省电力有限公司紧水滩水力发电厂

摘要

游离磨料平面研磨加工是一种传统的研磨加工方式，同时也是目前使用最多的研磨加工方法。其主要特点是在研磨液中加入磨粒，通过喷雾或胶管直接将研磨液滴在磨盘上。磨盘的旋转将磨粒带到工件与磨盘之间，并通过磨粒与工件的接触来实现工件的加工。首先将要加工的工件基板安装在夹头下方。通过磨盘和夹持头的旋转，研磨液中的磨料在磨盘和工件基体之间滚动和划伤，去除工件的表面材料。这其中的平面研磨低损伤控性的研究就尤为重要，本文基于此对平面研磨低损伤原因形态进行了分析，给出了控性原则建议。

关键词

游离磨料平面；研磨加工；控性原则

参考

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