一种基于逆运算算法的衍射光栅成像优化方法

祁 柏林, 赵 宇暄, 周 宇泽
中国科学院沈阳计算技术研究所

摘要

本文以逆运算算法为基础，提出了一种衍射光栅成像优化方法。该方法针对衍射光栅成像过程中的光强分布不均
匀和图像失真问题，通过构建逆运算模型对光栅的衍射效应进行数值模拟和补偿。首先，我们详细分析了光栅衍射的物理
机制和影响因素，进而建立了光栅衍射的正向模型。接着，以此为基础，我们设计了逆运算算法，通过迭代优化方法反向
求解光栅结构参数，以达到优化成像质量的目的。实验结果表明，这种优化方法能够显著提高衍射光栅成像的分辨率和对
比度，为应用于高精度成像领域的衍射光栅提供有力支撑，有效抑制了衍射条纹和图像中的杂讯。

关键词

逆运算算法；衍射光栅；成像优化；数值模拟；迭代优化

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