西门子法多晶硅生产中的质量控制难点及措施

李 广伟
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摘要

目前多晶硅工厂普遍采用改良西门子法生产工艺，随着生产工艺的不断改良与发展，西门子法冷氢化工艺
日益完善，在“碳达峰、碳中和”目标下，我国未来多晶硅行业将会蓬勃发展。西门子法多晶硅生产中要真正实现
生产连续、稳定以及生产高质量产品的生产难度较高。本文主要针对多晶硅生产中的质量控制提出新的思路进行多
重分析，多晶硅生产中的质量控制提出新的思路，通过生产过程的质量控制，实现稳定高质量的多晶硅生产。

关键词

西门子法；多晶硅；质量控制

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