智慧生态链驱动的研究生培养 MEMS 课程优化及实践

段 智勇, 钟 英辉, 马 刘红, 李 梦珂, 董 馨源, 张 超
郑州大学

摘要

全信息采集的前端是大量的 MEMS 器件及其阵列，支撑着当前智慧产业链的快速发展。亟需高层次技术人才，在
不少高校、研究所都在开展 MEMS 人才培养的基础上，完善微机电系统设计人才的模型分析、材料、设计、制备工艺、测
试表征基础是当前亟待解决的问题。人才培养和产业实际的纽带需要进一步增强，而当前部分工艺平台产线冗余，在完成
设计、生产任务的同时完全可以衔接到专业人才培养的前期过程中，降低成本、提高效率。

关键词

智能传感；微制造技术；微机电系统设计

参考

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