AMHS轨道补强系统方案分析探讨

方 宝荣
中国电子系统工程第二建设有限公司

摘要

AMHS（洁净室自动搬运系统）是超大规模电子制造工业环境中洁净工艺系统中的重要组成部分，其中自
动化轨道小车作为洁净厂房自动搬运系统连接 STOCKER（仓储系统）的主通道。安装精度与稳定性与 FFU吊顶系
统安装关系密切，是集成电路项目设计及安装的重点。本文将结合上夹层屋面梁间距及补强要求等，对AMHS轨道
上夹层二次钢构系统施工进行深化设计方案及施工进行分析。以期对类似结构形式的半导体厂房实施有所裨益。

关键词

洁净室；轨道小车；荷载选型

参考

[1]《钢结构工程施工质量验收规范》GB50205-2001

[2]《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010