TEM显微镜噪声屏蔽室吸声结构部分方案总结

孟 令文
中国电子系统工程第二建设有限公司

摘要

在半导体项目实施过程中，需在TEM实验室区域安装电子显微镜，用于晶圆检测和品控，电子显微镜属于
高精密仪器，对实验室声环境要求非常高，为不影响电子显微镜正常工作，需对TEM实验室进行防噪音处理（通常
电磁屏蔽部分由显微镜厂商实施）。

关键词

噪声；屏蔽；测试

参考

[1]《环境噪声与振动控制工程技术导则》HJ2034-2013；

[2]《工业企业噪声控制设计规范》GB/T50087-2013；

[3]《建筑装修工程施工及验收规范》GB50210-2018；

[4]《洁净室施工及质量验收规范》GB50591-2010