高功率半导体激光器腔面膜的研究

邱 忠阳, 冯 瑞姝, 李 成龙
大庆师范学院

摘要

高功率半导体激光器由晶体自解理形成的谐振腔腔面易被损伤且损耗大,对腔面镀膜可以提高激光器的性
能、工作的稳定性及寿命。本文介绍了半导体激光器的腔面膜层材料的选择依据及对膜层应用效果进行了归纳总结。

关键词

高反膜;反射率;阈值

参考

[1]半导体激光器腔面钝化的研究[D].邱忠阳.长春理

工大学，2010.

[2]半导体激光器腔面膜激光损伤阈值的研究[D].李

莎.北京工业大学，2017.

[3]现代光学薄膜技术[M].浙江大学出版社，唐晋发

等，2006.

[4]大功率GaAs基半导体激光器腔面膜一次性制备

技术[J].芦鹏，李再金，曲轶，马晓辉.长春理工大学学

报（自然科学版），2014（06）.

[5]GaSb基激光器腔面膜的材料选取及膜系设计

[J].高婷，曲轶，徐正文，王鑫，李再金.强激光与粒子

束，2014（01）.

[6]半导体激光器后腔面高反射涂层的研究[J].吴根

柱，齐鸣，叙安怀，张永刚，李爱珍.功能材料与器件学

报，2003（03）.

[7]电子束蒸发制备HfO2薄膜的性能研究[J].张红鹰，

吴师岗，杜健.硅酸盐通报，2014（05）.

[8]HfO2/SiO2薄膜的激光预处理作用研究[J].卫耀伟，

张哲，刘浩，欧阳升，郑轶，唐耿宇，陈松林，马平.强

激光与粒子束，2013（12）.

[9]GaAs半导体激光器腔面膜的制备[J].韩旭.硅谷，

2012（11）.

[10]不同工艺条件下TiO2单层膜的吸收和损伤阈值

测试[J].徐俊海，赵元安，邵建达，范正修.中国激光，

2012（04）.

[11]808nm掺铝半导体激光高损伤阈值腔面膜制备

[J].李再金，胡黎明，王烨，杨晔，彭航宇，张金龙，秦

莉，刘云，王立军.红外与激光工程，2010（06）.

[12]GaAs半导体激光器腔面膜的制备[J].韩旭.硅

谷，2012（11）.

[13]Improvementofsub-thresholdcurrentmodelsfor

a-Si：Hthin-filmtransistors.WANGLi-juan，ZHUJiang，

LIUChun-Lingetal.solid-stateelectronics，2007，51：

703-707.

[14]a-Si∶H/SiO2多量子阱材料制备及其光学性能

和微结构研究[J].马小凤，王懿喆，周呈悦.物理学报，

2011（06）.

[15]Computationalgenerationofvoidsina-Siand

a-Si：Hbycavitationatlowdensity[J].EnriqueGuerrero；

DavidA.Strubbe.PhysicalReviewMaterials.2020.3.