多晶硅装置尾气回收工艺研究进展

武 志强, 仝 　磊
内蒙古包头市土默特右旗

摘要

随着多晶硅产量的不断增加，其尾气排放量也在不断增加。一般情况下，多晶硅装置尾气中含有多种杂质
气体，其中以乙烯、丙烯、氢气为主，对环境造成严重污染，因此需要对其进行回收利用。目前多晶硅生产技术中
尾气回收技术主要包括精馏法、吸收法和吸附法。精馏法利用沸点差异实现尾气分离；吸收法利用不同物质的溶解
度不同进行分离；吸附法主要是利用吸附剂对尾气中的杂质气体进行吸附。

关键词

多晶硅；装置；回收工艺

参考

[1]陈媛.多晶硅尾气回收工艺研究进展[J].科研，

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[2]陈鹏飞.多晶硅生产过程尾气排放的回收工艺分析

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