CT球管生产工艺的高温高真空炉的研发与应用

舒 立杰, 李 成亮, 郄 程飞
北京北方华创真空技术有限公司

摘要

在CT球管生产工艺中,真空热处理是重要的工艺环节。为了实现CT球管核心部件的国产化生产,研发高温高真空炉,以国产冷泵作为核心高真空泵,并配有载气分压气路控制系统。并且开发了冷泵手动/自动控制程序,与设备控制程序相结合,实现设备稳定运行和生产。

关键词

CT球管;真空高温工艺;低温泵;低温泵控制程序模块化

参考

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