硅管西门子法多晶硅及物理冶金法多晶硅制备分析

李 广伟
320302196712303642

摘要

本文论述了：1）将本征导电硅环用作种晶，并通过切克劳斯基法拉制等直径的具有P型、n型或本征导电
的硅管，2）将P型或n型硅管用作热载体，在1050~1100时，将高纯氢与三氯氢硅在还原炉中进行多次定向固化，从
而得到纯度99.99999%以上的本征或导电硅管；3）将本征导电硅管作为容器，将高纯度99.9999%的物理冶金方法所
制得的硅材料用P型或N型硅管作为容器，填充到由物理冶金法合成的硅，在1050-1100时，通过区熔单晶硅炉进行
多次定向凝固，得到纯度99.99999%的硅管多晶硅。

关键词

硅管；硅管西门子多晶硅；硅管物理冶金多晶硅

参考

[1] 闽乃本 . 晶体生长的物理基础 [M]. 上海：上海科学

技术出版社，2020

[2] 介万奇 . 晶体生长的理论和方法 [M]. 北京：科技出

版社，2016.

[3] 尹建华，李志伟，尹建华 .《半导体硅基》（第 2

版）（尹建华）[M]. 北京：化工出版社，2019.

[4] 黄有志 . 单晶硅直拉技术 [M]. 北京：化工出版社，

2019.

[5] 梁宗存，沈辉，史瑁，等 . 硅片制备工艺 [M]. 北

京：化工出版社，2019.

[6] 吴亚萍 . 大连科技大学，2016，大连 .

[7] 单继周 . 用冶金方法净化工业硅的方法 [M]. 郑州：

郑州大学，2018.

[8] 武冠，张军，刘林，等 . 太阳电池用多晶硅定向

固化工艺 [M]. 昆明科技大学出版社，昆明，2019.

[9] 孙世海 . 多晶硅定向凝固技术的研究 [M]. 大连理工

大学，大连 .

[10] 张慧星 . 工业硅的定向凝固技术的应用 [M]. 大连

科技学院，大连，2019.

[11] 赵志强 . 高阻区熔融硅单晶制备工艺的探讨 [M].

天津：天津大学，2019.