锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能分析

张 泽奎
武汉软件工程职业学院

摘要

本文通过实验研究了锰钴镍铜氧薄膜的红外探测器的制备过程，并分析了器件的各项性能。实验中通过修改Cu元素的掺加比例，制作出一系列的MCNC薄膜材料，并制备成不同红外探测设备，结果表明探测器件在一定厚度、尺寸情况下，改变铜掺入，能对期间阻值、噪声等参数产生显著影响，当铜掺入量达到0.24左右时，薄膜器件阻值、噪声等参数达到较好的范围，能够较好弥补负温度系数减小等问题，且该铜掺入量下的薄膜器件能获得更好的探测率。

关键词

锰钴镍铜氧薄膜；红外探测器；性能分析

参考

[1]张雷博.锰钴镍仰系薄膜光学性质及多元器件研究[D].上海：上海技术物理研究，2013.

[2]张雷博，侯云，周炜等.锰钴镍氧薄膜热敏型多元红外探测器研制[J].红外与毫米波学报，2014(4)：359-363.